虚拟测量就是在没有实际工件的情况下对cad模型在软件中进行测量。纳诺精密配备的测量软件拥有强大的cad功能，要进行虚拟测量时，打开软件，选择脱机工作模式，然后导入所要测量的cad模型，并将cad模型对应到选定的坐标系中即进行测量。根据所要测量的几何元素，使用鼠标在cad模型上点击所要采点的位置，此时cad模型上会显示所采点的位置及其矢量方向。根据所测量的几何要素的需要，可进行多次采点。当采够所需要的点数后再在采点窗口中点确定，系统将会驱动虚拟测头进行采点，并拟和出要测的几何元素及其图形。虚拟测量可以通过对没有尺寸数据的cad模型进行测量，确定其各种尺寸参数。但这不是虚拟测量的主要目的，虚拟测量的主要功能是为在脱机状态下进行自动测量编程做服务。
一般可根据被测工件要求的检测精度与三坐标测量机给定的测量不确定度相对比，看三坐标测量机精度是否符合要求。
三坐标测量机的技术规范中一般只给出单轴测长和空间测长的两个不确定度公式及重复精度值。但在具体测件时需要将被测参数的测量不确定度限制在一定范围内。一般测量时，要测量很多测点;在形位测量时，更有大量测点参与并带来测量误差，计算是很难的。因此从经验出发，在一般测量中，测量不确定度应为被测工件尺寸公差带的1/5～1/3。对于精密测量及复杂的形位测量要求很高，一般应为被测尺寸公差带的1/10～1/5。重要的是重复精度必须满足要求，因为系统误差还可以通过一定方法补偿，而重复精度应由三坐标测量机本身保证。
综上，用户应选用重复精度高一些的三坐标测量机;这不仅由于测量复杂件时，测点可能带入的误差比预想的要大(由于测头测杆变化或加长会引入更大的误差)，而且三坐标测量机的精度会随使用次数增多而有所下降。
{精}对材料的要求有：导热性要好，以免外界有温度变化（随时间及空间变化）时形成构件内部的温度梯度，引起机器结构的变形（主要是扭转和弯曲）；{长}热膨胀系数要小，以免温度变化引起过大的伸长缩短；要具有比较大的弹性模量（刚性），以免受力后有较大的变形；高的硬度及耐磨性，保证不易划伤、磨损；较高的强度不易断裂；运动部分的材料要求密度小，{长}以减小由于测量机的高速、高加速运动而产生的测量机惯性力；考虑材料吸水率小，以免受潮变形（质量差的花岗石，由于吸水，足以引起微米级的变形）；{长}工艺性好，易于加工；成本要低。
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